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S係列集成單軸--三軸的緊湊型壓電掃描台:·壓電陶瓷堆疊驅動 ·無摩擦柔順結構導向 ·亞納米級位置分辨率·內置電容傳感器,閉環控製 ·長行程運動範圍 ·直接位置檢測
S100/200/300.X & S500.X
生產廠家
2026-04-03
141
大範圍線性運動中空掃描台:超安靜運動 納米級分辨率 ·全行程運動中,保證通孔·XY一體式組合結構·內置高精度光學位置傳感器 ·斷電位置自保持 ·可與高精度壓電掃描台堆疊組合
Carrier係列
生產廠家
2026-04-03
149
三自由度並聯運動台:超安靜運動 ·納米級分辨率 ·斷電位置自保持 ·並聯驅動結構 ·內置高精度光學位置傳感器 靈活的可定製方案
Free3D.ZTxTy.070
生產廠家
2026-03-06
347
六自由度並聯運動台:超安靜運動 納米級分辨率 ·斷電位置自保持·內置高精度光學位置傳感器 並聯驅動結構 高剛性係統
Free6D.3-2.070
生產廠家
2026-03-06
344
長行程線性位移台:超安靜運動 ·納米級分辨率 斷電位置自保持內置高精度光學位置傳感器 ·多種行程規格
Indus係列
生產廠家
2026-03-04
291

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