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產品簡介
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六自由度並聯運動台 — Free6D.3-2.070
產品特色
· 超安靜運動
· 納米級分辨率
· 斷電位置自保持
· 並聯驅動結構
· 內置高精度光學位置傳感器
· 高剛性係統
產品圖片&尺寸
產品參數
1 | 可選版本 | .HV，高真空版本; .UHV，超高真空版本； .NM，*全無磁版本； |
2 | 外形尺寸 | Ø70 × 65 mm |
3 | 主體材料 | 標準版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：400 g；,NM 純鈦，陶瓷：600 g |
4 | *大垂直負載 | 300 g |
5 | 運動行程 X，Y，Z | ± 5 mm，± 5 mm，± 2.5 mm |
6 | 運動行程 θX，θY ，θZ * | ± 16 °,± 13 °,± 26 ° |
7 | 單向重複精度 X，Y，Z * | ± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm |
8 | 單向重複精度θX，θY，θZ | ± 8 μrad，± 8 μrad，± 8 μrad |
9 | 最小步伐 X，Y，Z | 10 nm，10 nm，10 nm |
10 | 最小步伐 θX，θY，θZ | 1 μrad，1 μrad，1 μrad |
11 | 傳感器類型 | 光學位置傳感器 |
12 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
13 | 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK) |
14 | 控製器規格 | MC-Free6D |
六自由度並聯運動台 — Free6D.3-2.150
產品特色
· 超安靜運動
· 納米級分辨率
· 斷電位置自保持
· 並聯驅動結構
· 內置高精度光學位置傳感器
· 高剛性係統
產品圖片&尺寸
產品參數
1 | 可選版本 | .HV，高真空版本; .UHV，超高真空版本； .NM，*全無磁版本； |
2 | 外形尺寸 | Ø150 × 90 mm |
3 | 主體材料 | 標準版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：1.4 kg；,NM 純鈦，陶瓷：2.1 kg |
4 | *大垂直負載 | 1 kg |
5 | 中空孔徑 | Ø40 mm |
6 | 運動行程 X，Y，Z * | ± 10 mm，± 10 mm，± 5 mm |
7 | 運動行程 θX，θY ，θZ * | ± 9 °,± 8 °,± 14 ° |
8 | 單向重複精度 X，Y，Z | ± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm |
9 | 單向重複精度 θX，θY，θZ | ± 5 μrad，± 5 μrad，± 5 μrad |
10 | 最小步伐 X，Y，Z | 10 nm，10 nm，10 nm |
11 | 最小步伐 θX，θY，θZ | 1 μrad，1 μrad，1 μrad |
12 | 傳感器類型 | 光學位置傳感器 |
13 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
14 | 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK) |
15 | 控製器規格 | MC-Free6D |
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