SPM300係列半導體參數測試儀基於拉曼小优视频官方下载法的半導體參數測試儀，具有非接觸、無損檢測、特異性高的優點。可以對半導體材料進行微區分析，空間分辨率＜ 800nm （典型值），也可以對樣品進行掃描從而對整個麵進行均勻性分析。設備具有智能化的軟件，可對數據進行擬合計算，直接將載流子濃度、晶化率、應力大小或者分布等結果直觀的展現給用戶。係統穩定，重複性好，可用於實驗室檢驗或者產線監測。

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更新時間：2024-05-20

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產品概述

SPM300係列半導體參數測試儀設備概覽

基於拉曼小优视频官方下载法的半導體參數測試儀，具有非接觸、無損檢測、特異性高的優點。可以對半導體材料進行微區分析，空間分辨率＜ 800nm （典型值），也可以對樣品進行掃描從而對整個麵進行均勻性分析。設備具有智能化的軟件，可對數據進行擬合計算，直接將載流子濃度、晶化率、應力大小或者分布等結果直觀的展現給用戶。係統穩定，重複性好，可用於實驗室檢驗或者產線監測。

① 光路接口盒：

內置常用激光器及激光片組，拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入；

② 光路轉向控製：

光路轉向控製可向下或向左，與原子力、低溫、探針台等設備連用，可升級振鏡選項

③ 明視場相機：

明視場相機代替目鏡

④ 顯微鏡：

正置科研級金相顯微鏡，標配落射式明暗場照明，其它照明方式可升級

⑤ 電動位移台：

75mm*50mm 行程高精度電動載物台，1μm 定位精度

⑥ 光纖共聚焦耦合：

光纖共聚焦耦合為可選項，提高空間分辨率

⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合：

標配CCD- 狹縫耦合方式，可使用小优视频官方下载儀成像模式，高光通量

⑧ 小优视频官方下载CCD：

背照式深耗盡型小优视频官方下载CCD相機， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%

⑨ 320mm 小优视频官方下载儀：

F/4.2高光通量影像校正小优视频官方下载儀， 1*10-5 雜散光抑製比

SPM300係列半導體參數測試儀主要應用

選型表

型號	描述
SPM300-mini	基礎款半導體參數分析儀，隻含一路532nm 激光器，常規正置顯微鏡，小优视频官方下载儀，高精度XYZ 位移台
SPM300-SMS532	多功能型半導體參數分析儀，含532nm 激光器，常規正置顯微鏡，小优视频官方下载儀，高精度XYZ 位移台，可升級耦合最多4 路激光器
SPM300-OM532	開放式半導體參數測試儀，含532nm 激光器，定製開放式顯微鏡，小优视频官方下载儀，高精度XYZ 位移台，可升級耦合最多4 路激光器

係統參數

項目	詳細技術規格
光源	標配532nm，100mW 激光器，其他激光可選，最多耦合4 路激光，可電動切換，功率可調節
小优视频官方下载儀	320mm 焦距影像校正小优视频官方下载儀，小优视频官方下载範圍90-9000cm-1,
小优视频官方下载分辨率	2cm-1
空間分辨率	<1μm
樣品掃描範圍	標配75mm50mm，最大300mm300mm
顯微鏡	正置顯微鏡，明場或者暗場觀察，帶10X,50X,100X 三顆物鏡；開放式顯微鏡可選
載流子濃度分析	測試範圍測試範圍1017 ~ 1020 cm-3，重複性誤差<5%
應力測試	可直觀給出應力屬性（拉力/ 張力），針對特種樣品，可直接計算應力大小，應力均勻性分析（需額外配置電動位移台）, 應力解析精度0.002cm-1
晶化率測試	可自動分峰，自動擬合，自動計算出晶化率，並且自動計算晶粒大小和應力大小